特許

J-GLOBAL ID：200903091945621371

セラミックス・グリーンシート

発明者： 正木 孝樹 ,  田中 剛 ,  尾形 知彦
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 谷川 英次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104160
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330168
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ビアホールの形成を容易に精度良く、しかも微細な孔をフォトマスクパターン通りに確実に形成できるセラミック・グリーンシートの提供。【解決手段】 無機粒子と感光性有機成分とを含み、全光線透過率が30%以上であることを特徴とするセラミック・グリーンシート。好ましくは前記無機粒子は、酸化物換算表記でSiO2 30〜70重量%Al2O3 5〜25重量%CaO 5〜25重量%B2O3 3〜50重量%の組成範囲で、総量が95重量%以上となるガラス組成粉末40〜60重量%と、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、ベリリア、ムライト、コーディライト、スピネル、フォルステライト、アノーサイト、セルジアン、シリカ及び窒化アルミの群から選ばれた一種以上の無機フィラー粉末との原料混合物である。

請求項（抜粋）：

無機粒子と感光性有機成分とを含み、全光線透過率が30%以上であることを特徴とするセラミック・グリーンシート。

IPC (3件)：

C04B 35/622 ,  C04B 35/632 ,  H05K 3/46

FI (3件)：

C04B 35/00 G ,  H05K 3/46 H ,  C04B 35/00 108

引用特許：

審査官引用 (2件)

• セラミックス・グリーンシート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-028293   出願人：東レ株式会社
• ビア加工セラミックス・グリーンシートおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-181774   出願人：東レ株式会社