特許
J-GLOBAL ID：200903091983219463

板状体表面膜形成装置、方法及びこれらを用いて形成された表面膜を有する板状体

発明者：
淀川 吉見

淀川 吉見 について

, 
金子 幸生

金子 幸生 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外13名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370124
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179162
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：
【要約】【課題】 スピンコート方式を踏襲しつつ、一層、効率よく良好な表面膜を形成できるようにする。【解決手段】 被膜液付与部200のノズル220を半径方向幅Lが周方向幅Xより相対的に大きくなるように構成し、該ノズル220を用いて被膜液(色素)を基板1に付与する。これにより、被膜液の塗りムラ等を抑制でき歩留まり性等を向上させることができ、従来のスピンコート装置に比べて被膜液量を大幅に低減できる。また、基板回転の遠心力で振り切るべき余剰被膜液量を低減でき、かつ、余剰被膜液の基板1からの振り切り時間も短縮できる。従って、従来に対して、一層、短時間で歩留まり性良く板状体表面に表面膜を良好に形成することができると共に、製品品質の向上、製造時間の削減、延いては製造・製品コストの低減等を促進できる。
請求項（抜粋）：
板状体表面に、被膜液付与部を介して被膜液を付与し、該板状体表面上に付与された被膜液を板状体回転による遠心力を利用して所定膜厚に制御しつつ、前記板状体表面に表面膜を形成する板状体表面膜形成装置であって、前記被膜液付与部により板状体表面に付与される被膜液の板状体半径方向における半径方向幅が、板状体周方向における周方向幅より大きいことを特徴とする板状体表面膜形成装置。
IPC (4件)：
B05C 11/08 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/40 ,  G11B 7/26 531
FI (4件)：
B05C 11/08 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/40 A ,  G11B 7/26 531
Fターム (19件)：
4D075AC64 ,  4D075AC79 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DC21 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA12 ,  4F041BA13 ,  4F041BA56 ,  4F042AA06 ,  4F042EB05 ,  4F042EB09 ,  4F042EB17 ,  4F042EB29 ,  5D121AA01 ,  5D121EE22 ,  5D121EE24
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 特開昭59-112872
  • 現像装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-310863   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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