特許

J-GLOBAL ID：200903092086775082

サセプタ

発明者： 河邊 豊太郎 ,  山本 康正 ,  堤 謙一郎
出願人/特許権者： 伸和コントロールズ株式会社
代理人 (2件)： 武田 賢市 ,  武田 明広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-312796
公開番号（公開出願番号）：特開2005-085803
出願日： 2003年09月04日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】冷媒流路内の流下する冷媒における温度差を解消し、その結果、ウェーハ表面を均一に冷却することができるサセプタ乃至はサセプタ冷却システムを提供する。【解決手段】内部に形成された環状の中空部分が、C字状の仕切板16a,16bによって仕切られ、これによって、内部に複数の環状路18a〜18cからなる冷媒流路3が形成され、それらの複数の環状路18a〜18cのうち、隣接する二つの環状路を流下する冷媒が、C字状の仕切板16a,16bを隔てて互いに反対方向へ流れていく(対向流として流れていく)ように構成されていることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

内部に形成された環状の中空部分が、C字状の仕切板によって仕切られ、これによって、内部に複数の環状路からなる冷媒流路が形成され、 前記複数の環状路のうち、隣接する二つの環状路を流下する冷媒が、前記C字状の仕切板を隔てて互いに反対方向へ流れていくように構成されていることを特徴とするサセプタ。

IPC (3件)：

H01L21/3065 ,  H01L21/205 ,  H01L21/68

FI (3件)：

H01L21/302 101G ,  H01L21/205 ,  H01L21/68 R

Fターム (21件)：

5F004AA01 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB25 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA11 ,  5F045AA03 ,  5F045BB02 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EJ03 ,  5F045EJ09 ,  5F045EJ10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ウエハ冷却装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-064675   出願人：新日本製鐵株式会社
• 試料載置台及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-145770   出願人：株式会社日立製作所