特許
J-GLOBAL ID：200903033691408257
ウエハ冷却装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-064675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-245297
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 加熱されたウエハを効率良く冷却することができるウエハ冷却装置を提供する。【構成】 支持台の裏面側に渦巻状、リング状、波状または放射状に冷却液管を配設し、中心側から周縁部に向けて冷却液を流すようにすることで、ウエハの温度分布が可及的に均一になるように、かつ効率的にウエハの裏面全体を冷却することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハの表面を処理するべく反応室内にて前記ウエハ裏面側を略全面に亘り支持するための支持台を有する処理装置に用いられるウエハ冷却装置であって、前記支持台裏面側の中心から周縁側に向けて配設された冷却液管を有し、前記冷却液管の一端を上流側とし、かつ冷却液管の他端を下流側として前記冷却液管に冷却液を流すようにしたことを特徴とするウエハ冷却装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, H01L 21/205
, H01L 21/22 501
