特許
J-GLOBAL ID：200903092132553642
走査プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053149
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249713
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 原子間力測定から磁気力測定に移る時に、振動体の振幅が極めて速やかに磁気測定用に切り替わるようにする。【解決手段】 原子間力測定時、スイッチSWAをオンの状態、スイッチSWBをオフの状態にする。圧電素子3の電極11、カンチレバー1間に印加される交流電圧はカンチレバー1の固有振動数にほぼ対応した振動数を有し、且つ、探針2と試料4間に原子間力が働く領域内に前記探針2が入るように該探針を振動させる振幅にコントロールされる。磁気力測定時、スイッチSWAがオフの状態、スイッチSWBがオンの状態になる。振幅が磁気力測定用に制御された交流電圧が反転されて圧電素子3の電極11、カンチレバー1間に印加される。
請求項（抜粋）：
探針と試料を接近させた状態で探針と試料との相対的位置を変化させ、且つ、探針を備えた振動体をその固有振動数付近で振動させるようにした走査プローブ顕微鏡であって、前記振動体の振幅を切り換えて少なくとも2種類の測定モードでの測定を行うように成した走査プローブ顕微鏡において、前記振動体の振幅を切り換える時に異なった加振信号に基づいて振動体を振動させたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 M
, G01B 21/30 Z
2F069AA60
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG62
, 2F069HH05
, 2F069JJ14
, 2F069LL03
, 2F069MM24
, 2F069MM32
, 2F069NN00
, 2F069NN02
, 2F069QQ05
