特許

J-GLOBAL ID：200903078622564909

単一パス2重振幅モード走査力顕微鏡による場の検出

発明者： ドン・チェン ,  エドウィン・フレッチャ ,  ジェームズ・マイケル・ハモンド ,  ケニス・ギルバート・レスラー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143946
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332715
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 走査プローブによる表面に沿った単一パスでサンプル表面から延びる磁界または電界を記述するデータと表面凹凸の両方を決定するための方法を提供すること。【解決手段】 走査プローブ顕微鏡は走査運動の断続期間中に原子間力顕微鏡のように動作し、表面上の走査線がその表面とかみ合った状態で振動するプローブ先端14を通過するようにサンプル表面を駆動する。このような走査運動の断続期間の間、振動中のプローブ先端はサンプル表面10から分離した状態で移動するので、プローブ先端の振動の振幅および位相ずれはサンプル表面から外に向かって延びる力の場の勾配によって決定される。プローブ先端14がサンプル表面またはその付近の磁界または電界によって引きつけられるかまたはそこから反発するときに、このような力の場が確立される。各サンプル点ごとに、システムはサンプル表面の高さおよび力の場を表すデータを記憶する。

請求項（抜粋）：

サンプル表面上の走査線に沿って間隔を開けた関係にある複数のサンプリング点で測定を行い、前記サンプル表面の凹凸特徴とそこから外に向かって延びる力の場を測定するための方法において、(a)前記サンプル表面と、前記サンプル表面とかみ合った状態で振動させた片持ちばりに取り付けられたプローブ先端との間で相対運動を引き起こすステップであって、前記相対運動が前記複数のサンプリング点内の1つのサンプリング点まで走査線に沿って発生し、前記サンプル表面との所定のレベルのかみ合いを維持するために可変オフセット距離の間、前記プローブ先端も前記サンプル表面に対して垂直なZ軸に沿って移動するステップと、(b)前記サンプリング点で前記走査線に沿った前記相対運動を停止するステップであって、前記サンプリング点で前記ステップ(a)で確立された前記可変オフセット距離から決定されたサンプル・オフセット距離の周りで前記プローブ先端が振動するステップと、(c)前記サンプリング点に隣接する前記プローブ先端の振動を測定するステップと、(d)前記プローブ先端が前記複数のサンプリング点内の次のサンプリング点に隣接するまで前記走査線に沿った前記相対運動を続行するように前記ステップ(a)に戻るステップとを含む方法。

IPC (5件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12

FI (5件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面顕微鏡及び顕微方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-003676   出願人：株式会社日立製作所
• 形状を除く表面のパラメータを正確に測定し、または形状に関連した仕事を行うための方法および相互作用装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-298454   出願人：ディジタルインストルメンツ,インコーポレイテッド