特許
J-GLOBAL ID:200903092132858370

エキシマランプの点灯装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高野 明近
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-118024
公開番号(公開出願番号):特開2007-294140
出願日: 2006年04月21日
公開日(公表日): 2007年11月08日
要約:
【課題】エキシマランプを点灯中、ランプ割れ等による不点灯検出を、耐久性の良い電気的検出手段を採用することによって、長期的に信頼性と安全性が高いエキシマランプの点灯装置を提供する。【解決手段】点灯電源6の出力インダクタンスLと、エキシマランプ9の電極7、8間のキャパシタンスC1又はC2との共振電圧で点火と点灯を連続させるとき、先ず点火期間T1に点火周波数を出力し、続く点灯期間T2に点灯周波数を出力するようにした点灯装置において、点灯周波数を出力している期間T2中に任意の時間間隔T3毎に任意の時間T4だけ点火周波数に切替えることと、任意の時間T4においてエキシマランプに印加される電圧を電圧比較器10により監視し、あらかじめ設定した点灯電圧以上の電圧を検出したときAC電源入力を入切りする回路5により、自動的に点灯電源6のAC電源入力を遮断して装置の安全を図る。【選択図】図1
請求項(抜粋):
周波数が1MHz〜5MHzの範囲内で任意の周波数に自動調整できる機能を有する発信器1と、スイッチング動作型増幅器2と、空芯型出力トランス3と、装置全体を動作させる直流電源4と、AC電源入力を入切する回路5で構成される点灯電源6の空芯型出力トランス3の出力インダクタンスLと、エキシマランプ9に装着された放電電極対7、8間のキャパシタンスC1又はC2とで並列共振回路を構成し、当該並列共振回路の共振作用による高電圧で点火と点灯を連続して動作させるとき、点灯後における放電電極対7、8間のキャパシタンスC2は点火時における放電電極対7、8間のキャパシタンスC1より増大する特性を持つ。当該エキシマランプ9の放電電極対7、8間のキャパシタンスが増大する特性に連動して、出力インダクタンスLとの並列共振周波数も低下するので、エキシマランプ9を点灯するに際して、点灯電源6の出力周波数を、先ず、点火期間T1に点火周波数F1を出力し、続く、点灯期間T2に点灯周波数F2を出力するようにしたエキシマランプの点灯装置において、点灯周波数F2を出力している点灯期間T2中に、任意の時間間隔T3毎に任意の時間T4だけ点火周波数F1に切替えるようにしたことと、任意の時間T4期間において、エキシマランプ9の印加電圧Vと電圧比較器10であらかじめ設定した基準電圧V4を当該電圧比較器10により比較監視し、エキシマランプ9の印加電圧Vが基準電圧V4に等しいか、又は基準電圧V4以上であることを検出したとき、当該電圧比較器10の出力信号CPMでAC電源入力を入切りする回路5を駆動し、自動的に点灯電源6のAC電源入力を遮断するようにしたことを特徴とするエキシマランプの点灯装置。
IPC (1件):
H05B 41/24
FI (1件):
H05B41/24 M
Fターム (6件):
3K072AA16 ,  3K072AC01 ,  3K072BA01 ,  3K072BC02 ,  3K072EB06 ,  3K072EB07
引用特許:
出願人引用 (3件)

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