特許
J-GLOBAL ID：200903011086528654

エキシマ・ランプの点灯装置

発明者：
稲吉 貞利

稲吉 貞利 について


出願人/特許権者：
稲吉 貞利

稲吉 貞利 について


代理人 (2件)： 高野 明近 ,  岩野 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-393944
公開番号（公開出願番号）：特開2005-158413
出願日： 2003年11月25日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】点火用の電極と電源を使用せず、低電圧で点灯し、発光面全域での紫外線量の均一性に優れ、調光範囲が広いエキシマ・ランプの点灯装置を提供する。【解決手段】出力周波数を自動調整でき、出力トランス9を最終出力段に装備した電源4に、エキシマ・ランプ7を接続し、出力トランスのインダクタンスL0とエキシマ・ランプのキャパシタンスC0とで共振回路を構成し、共振作用により点火電圧と連続点灯電圧を得て点灯すると、キャパシタンスC0はプラズマの成長と共に増加する特性を持つ。この特性に連動して共振周波数が低下するので、電源4の出力周波数を共振周波数に概略一致させるように自動調整し、インダクタンスL0とキャパシタンスC0との共振周波数が、エキシマ・ランプが持つ特性であるイオン・プラズマ振動周波数に概略一致するように、インダクタンスL0を決定し、点火電圧と連続点灯電圧を低下させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
出力周波数を自動調整できる機能を有し、空芯型出力トランスを最終出力段に装備した高周波電源に、 エキシマ・ランプ内に充填された放電用ガスに放電現象を誘起させるための、一対の放電電極対が装着されたエキシマ・ランプの放電電極対を接続し、 空芯型出力トランスの出力インダクタンスと、エキシマ・ランプに装着された放電電極対間のキャパシタンスとで共振回路を構成し、 該共振回路の共振作用により概略正弦波の高周波高電圧を発生させる事により、 エキシマ・ランプ内の放電領域の不特定の部位において、 連続点灯のきっかけとなる点灯開始用火花放電を生じさせるための点火(トリガ)電圧と、これに続く結果として、 エキシマ・ランプ内の放電領域全体が一様にグロー状放電による発光で満たされた状態となる連続点灯電圧を得て点灯する時、 消灯時から点火(トリガ)を経て、エキシマ・ランプ内の放電領域全体が一様にグロー状放電による発光で満たされた状態となる連続点灯までに至る途中の過程において、 エキシマ・ランプの放電電極対間のキャパシタンスは、エキシマ・ランプ内のグロー状放電による発光を伴うプラズマの成長と共に、概ね増加しながら推移するという特性を持つことに連動して、空芯型出力トランスの出力インダクタンスとエキシマ・ランプの放電電極対間のキャパシタンスとの共振周波数も概ね低下しながら推移するので、 前記高周波電源の出力周波数を、概ね低下しながら推移する共振周波数に、概略一致させるように自動調整する事と、前記空芯型出力トランスの出力インダクタンスと前記エキシマ・ランプに装着された放電電極対間のキャパシタンスとの共振周波数が、前記エキシマ・ランプに充填されている放電用ガスが持つ特性であるところのイオン・プラズマ振動周波数に概略一致するように、前記空芯型出力トランスの出力インダクタンスを製作し、 点火(トリガ)電圧と連続点灯電圧を低下させたことを特徴とするエキシマ・ランプの点灯装置。
IPC (1件)：
H05B41/24
FI (1件)：
H05B41/24 M
Fターム (8件)：
3K072AA16 ,  3K072AC01 ,  3K072AC11 ,  3K072BA01 ,  3K072BC04 ,  3K072DD04 ,  3K072HA04 ,  3K072HA06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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