真直度測定装置の真直運動精度測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-043228
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235304
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】本発明は、真直度測定装置の真直運動精度を測定するための真直度測定装置の真直運動精度測定方法に関し、ストレートマスタの撓み量を最小にした状態で真直運動精度を高精度で測定することを目的とする。【解決手段】ストレートマスタの基準面を上側または下側にして、ストレートマスタの2点を、ストレートマスタの自重による撓み量が最小となる最小撓み支持点で支持した状態で、基準面に沿ってセンサを移動し第1の測定データを得た後、ストレートマスタの基準面を下側または上側に反転して、最小撓み支持点で支持した状態で、基準面に沿ってセンサを移動し第2の測定データを得、第1の測定データおよび第2の測定データに基づいてスライダの真直運動精度を測定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

水平に配置される長尺状の案内部材に沿ってスライダを移動し、前記スライダに配置されるセンサを、前記案内部材と平行に水平に配置される長尺状のストレートマスタの基準面に沿って移動し、前記センサからの出力に基づいて前記スライダの真直運動精度を測定する真直度測定装置の真直運動精度測定方法において、前記ストレートマスタの基準面を上側または下側にして、前記ストレートマスタの2点を、前記ストレートマスタの自重による撓み量が最小となる最小撓み支持点で支持した状態で、前記基準面に沿って前記センサを移動し第1の測定データを得た後、前記ストレートマスタの基準面を下側または上側に反転して、前記最小撓み支持点で支持した状態で、前記基準面に沿ってセンサを移動し第2の測定データを得、前記第1の測定データおよび第2の測定データに基づいて前記スライダの真直運動精度を測定することを特徴とする真直度測定装置の真直運動精度測定方法。

Fターム (11件)：

2F062AA55 , 2F062BB03 , 2F062BB14 , 2F062CC09 , 2F062DD12 , 2F062EE01 , 2F062EE12 , 2F062EE62 , 2F062FF03 , 2F062HH05 , 2F062JJ07

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-010316 出願人：新日本製鐵株式会社, 黒田精工株式会社
特開平2-253114
特開昭61-262610

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