特許

J-GLOBAL ID：200903092156814692

半導体装置検査ボード

発明者： 山本 健太郎
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (3件)： 高松 猛 ,  市川 利光 ,  橋本 公秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-279510
公開番号（公開出願番号）：特開2006-090953
出願日： 2004年09月27日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】異なる種類の半導体装置を柔軟に組み合わせて同時検査を実施できるようにし、汎用検査装置を用いた検査作業の効率向上、検査時間の短縮ならびに検査コストの低減を実現する。【解決手段】検査ボードを、汎用検査ボード14と、実装用検査ボード12,13に分割し、実装用検査ボード12,13を、汎用検査ボード14上の任意の位置に装着することを可能(任意位置における着脱自在)とする。半導体装置の種類毎に実装用検査ボード12,13を予め作成しておけば、半導体検査装置11のもつ能力を越えないという条件の下で、適切な実装用検査ボード12,13を、汎用検査ボード14に適宜、装着するだけで、各種の半導体装置についての同時検査を実施できるようになる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体検査装置に接続される半導体装置検査ボードであって、 前記半導体装置に接続される第1の検査ボードと、 被検査半導体装置を搭載し前記第1の検査ボードに接続される第2の検査ボードと、 を備える半導体装置検査ボード。

IPC (1件)：

G01R 31/26

FI (1件)：

G01R31/26 J

Fターム (6件)：

2G003AA07 ,  2G003AC01 ,  2G003AG01 ,  2G003AG17 ,  2G003AG18 ,  2G003AH04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• IC試験装置の検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-267245   出願人：株式会社アドバンテスト