配線パターン検査方法およびその装置ならびに配線パターン基板の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-043783
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240628
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【構成】液晶基板1のドレイン線2(配線パターン)に対し、配線パターン形成面11と反対側の基板面に、1本の放射パターン13を有する放射基板12を接触させ、ドレイン線2と放射パターン13の間に、発振器14により時間的に変化する電圧を印加して、両者の間に流れる電流を検出し、放射基板12をドレイン線の方向に移動して電圧印加、電流検出を実施し、そのときの電流出力の変化に基づいてドレイン線2の断線位置を検出する。【効果】配線パターンの欠陥の位置を、迅速かつ安価な装置構成で自動検出できる。

請求項（抜粋）：

絶縁板の一方の表面に形成された配線パターンの欠陥を検査する方法において、少なくともその一部が配線パターンの一部位と静電的に結合するようになされた電極を設け、該電極と配線パターンとの間に時間的に変化する電圧を印加して、該電極と配線パターンとの間に流れる電流を検出し、該電圧印加および該電流検出を配線パターンの異なる部位について実施し、配線パターンの部位が異なることによって生じる前記電流の変化に基づいて、該配線パターンの欠陥の検出を行うことを特徴とする配線パターン検査方法。

IPC (6件)：

G01R 31/00 , G01R 1/06 , G01R 31/02 , G01R 31/28 , G01R 31/302 , G02F 1/1343

FI (6件)：

G01R 31/00 , G01R 1/06 F , G01R 31/02 , G02F 1/1343 , G01R 31/28 J , G01R 31/28 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-214778
特開昭63-189897
特開平1-102498

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