高周波測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：吉田稔 , 田中達也 , 仙波司 , 古澤寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-360401
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163308
出願日： 2005年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】周波数が変化する高周波電源装置を使用するプラズマ処理システムでも、保持している一部の周波数に対する校正データから生成する校正データにより、所定の周波数範囲で校正を行うことができる高周波測定装置を提供する。【解決手段】高周波測定装置において、高周波信号を検出する信号検出手段と、下限周波数fminにおける検出値Aminと上限周波数fmaxにおける検出値Amaxをそれぞれ真の測定値ASminとASmaxに校正するための校正データCmin,Cmaxが記憶された校正データ記憶手段と、高周波信号の周波数fmを検出する周波数検出手段と、周波数fmに対する校正データCmを演算する校正データ演算手段と、校正データ演算手段で演算された校正データCmを用いて信号検出手段で検出された検出値Amを真の測定値ASmに校正する測定値校正手段とを備えた。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

予め設定された所定の周波数範囲の高周波信号の測定が可能な高周波測定装置であって、前記高周波信号を検出する信号検出手段と、前記信号検出手段で検出される、前記周波数範囲の下限周波数fminにおける検出値Aminと上限周波数fmaxにおける検出値Amaxをそれぞれ真の測定値ASminと測定値ASmaxに校正するための校正データCmin,Cmaxが記憶された校正データ記憶手段と、前記信号検出手段で検出された前記高周波信号の周波数fmを検出する周波数検出手段と、前記周波数範囲の下限周波数fmin及び上限周波数fmaxと、前記周波数検出手段で検出された周波数fmと、前記校正データ記憶手段に記憶された校正データCmin,Cmaxを用いて、前記周波数fmに対する校正データCmを演算する校正データ演算手段と、前記校正データ演算手段で演算された校正データCmを用いて前記信号検出手段で検出された検出値Amを真の測定値ASmに校正する測定値校正手段と、を備えたことを特徴とする高周波測定装置。

IPC (3件)：

G01R 19/00 , G01R 35/00 , H01L 21/306

FI (3件)：

G01R19/00 N , G01R35/00 E , H01L21/302 101Z

Fターム (8件)：

2G035AA04 , 2G035AB04 , 2G035AC03 , 5F004BB13 , 5F004BB14 , 5F004CA03 , 5F004CA08 , 5F004CB07

引用特許：

出願人引用 (2件)

高周波信号検出プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-359756 出願人：山田泰三, 藤野好夫
特開平3-283728

審査官引用 (1件)

特開平3-283728

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