特許

J-GLOBAL ID：200903092285084633

屈折率分布型レンズアレイの検査方法

発明者： 高城 智孝 ,  林 吉彦 ,  佐々木 幹生
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-173430
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015090
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 目視検査にたよることなく、各レンズ素子の欠けや折れなどを検出する。レンズ素子の細径化に対応でき、信頼性が高く、明確な良否判断基準を設定でき、再現性のよい検査が行えるようにする。【構成】 屈折率分布型レンズアレイ10の各レンズ素子12に、平行光又は散乱光を入射し、各レンズ素子からの出射光を、隣接するレンズ素子からの出射光の影響を排除して受光することにより、各レンズ素子単独の伝達光量あるいは光量分布を求め、予め設定した良否判断基準と比較して良品・不良品を選別する。平行光としては、光軸回りに回転対称な強度分布をもつ平行光が好ましい。光量分布を求めるには、スリットを通して受光素子で受光し、スリットをレンズアレイに対して相対的に、レンズアレイの幅方向に走査させる。

請求項（抜粋）：

屈折率分布型レンズアレイの各レンズ素子に、平行光を入射し、各レンズ素子から出射した光を、隣接するレンズ素子からの出射光の影響を排除して受光することにより、各レンズ素子単独の伝達光量あるいは光量分布を求め、予め設定した良否判断基準と比較して良品・不良品を選別することを特徴とする屈折率分布型レンズアレイの検査方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-120933
  
• マイクロレンズアレイの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-312727   出願人：シヤープ株式会社
• 特開昭56-000635