感光性樹脂組成物およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鍬田充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175129
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237737
出願日： 1998年06月22日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】既存の露光システムを利用して、感光性樹脂組成物(特に半導体製造用レジスト)の感度および解像度を改善する。【解決手段】感光性樹脂組成物を、ベース樹脂(ノボラック樹脂、ポリビニルフェノール系重合体など)と、異なる波長λ1 ,λ2 に吸収域を有する第1の光活性成分(ジアゾベンゾキノン誘導体、ジアゾナフトキノン誘導体など)及び第2の光活性成分(アジド化合物の混合物など)とで構成する。前記第1及び第2の光活性成分のうち、少なくとも一方の活性成分は、他方の活性成分の吸収波長に対して実質的に不活性である。感光性樹脂組成物に光線を露光してパターンを形成した後,異なる波長の光線で全面露光して感光層表面を現像液に対して難溶化(ポジ型の場合)または易溶化(ネガ型の場合)処理し、現像することにより解像度の高いパターンを形成できる。

請求項（抜粋）：

ベース樹脂と光活性成分とで構成された感光性樹脂組成物であって、光活性成分が、異なる波長λ1 ,λ2 に吸収域を有する複数の光活性成分で構成されている感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/004 503 , G03F 7/008 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/008 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-010345
特開昭59-079248
特開昭60-122938

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