特許
J-GLOBAL ID：200903092299994128

感光性樹脂組成物

発明者：
武部 和男

武部 和男 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-158572
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023716
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】表面平滑性に優れ、微細なパターンまで解像可能で、更に、回復率に優れ、フォトスペーサーのようなパターンを形成しうる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】バインダー樹脂、光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物において、バインダー樹脂が下記A1)、A2)およびA4)を共重合させて共重合体1を得、この共重合体1とA3)とをエポキシ基の部位で反応させて共重合体2を得て、さらに共重合体2とA5)とを水酸基の部位に反応させて得られる共重合体である感光性樹脂組成物。A1);トリシクロデカンおよびジシクロペンタジエンから選ばれる骨格と、不飽和結合とを有する化合物、A2);A1)およびA4)と共重合可能な化合物、A3);不飽和結合を有するカルボン酸、A4);不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物、A5);酸無水物【選択図】なし
請求項（抜粋）：
バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有する感光性樹脂組成物において、 バインダー樹脂(A)が、下記(A1)、(A2)および(A4)を共重合させて共重合体1を得て、得られた共重合体1と(A3)とを共重合体1の(A4)に由来するエポキシ基の部位で反応させて共重合体2を得て、さらに得られた共重合体2と(A5)とを共重合体1の(A4)と(A3)の反応により生成した水酸基の部位に反応させて得られる共重合体であり、光重合開始剤(C)が、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、オキシム系化合物およびトリアジン系化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。 (A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物 (A2);(A1)および(A4)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物 (A3);不飽和結合を有するカルボン酸 (A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物 (A5);酸無水物 ただし、(A1)〜(A5)は、それぞれ、互いに同一ではない。
IPC (5件)：
G03F 7/027 ,  G02B 5/20 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033
FI (6件)：
G03F7/027 515 ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/1335 505 ,  G02F1/1339 500 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033
Fターム (38件)：
2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC74 ,  2H025BC83 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025CA02 ,  2H025CA07 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB10 ,  2H048BB42 ,  2H089LA09 ,  2H089MA04X ,  2H089MA13 ,  2H089NA14 ,  2H089QA09 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14 ,  2H089TA04 ,  2H089TA12 ,  2H091FA02 ,  2H091GA06 ,  2H091GA08 ,  2H091LA12
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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