電子写真感光体およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荻上豊規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024845
公開番号（公開出願番号）：特開平9-197694
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【目的】いかなる環境下においても電子写真感光体の加温手段を設けなくても画像ボケや画像流れのない高品質の画像が得られ、また、長時間休止した後にハーフトーン画像をとっても濃度ムラが発生せず、帯電能が充分で、感度が高く、濃度の濃い鮮明な画像の得られる電子写真感光体及びその製造方法を提供する。【構成】光導電層の最表面を覆う表面保護層を、少なくとも炭化水素からなる原料ガスを発振周波数が50MHz以上450MHz以下の高周波電力により分解し、水素原子を含む非単結晶カーボンからなる表面保護層を形成し、しかる後にフッ素を含むガスを50MHz以上450MHz以下の高周波電力により分解し、該非単結晶カーボンからなる該表面保護層を、エッチング速度0.1〜50Å/secで少なくとも20Å以上エッチングし、該表面保護層の膜厚を100〜10000Åにすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

導電性基体と、該基体上に少なくともシリコン原子を含んだ原料ガスを高周波電力により分解して形成された少なくともシリコン原子を母体とする非単結晶材料からなる光導電層と、該光導電層の上に、少なくとも炭化水素からなる原料ガスを発振周波数が50MHz以上450MHz以下の高周波電力により分解して形成された水素原子を含む非単結晶カーボンからなる表面保護層とからなり、該表面保護層は、フッ素を含むガスを50MHz以上450MHz以下の高周波電力により分解し、該非単結晶カーボンからなる該表面保護層を、エッチング速度0.1〜50Å/secで少なくとも20Å以上エッチングすることにより該表面保護層の膜厚を100〜10000Åとし、該エッチングされた表面保護層の表面に、フッ素原子を含んだプラズマ放電に由来するフッ素原子が該表面保護層の表面を覆うように存在していることを特徴とする電子写真感光体。

IPC (2件)：

G03G 5/08 301 , G03G 5/08 360

FI (2件)：

G03G 5/08 301 , G03G 5/08 360

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭62-204266
特開平4-281460
特開昭61-289354

全件表示

前のページに戻る