特許
J-GLOBAL ID：200903092360886651
半導体製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-132367
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327873
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 生産情報データをクリーンルーム以外の場所でも容易に参照、加工、印刷ができ、その利用価値を高めることができると共に、クリーンルーム内のペーパレス化の推進及びパーティクル低減を図ることができる半導体製造装置を得る。【解決手段】 半導体製造のための処理結果を生産情報データとして収集する生産情報データ収集手段と、前記生産情報データ収集手段により収集されたデータの少なくとも一部をオペレータにより指定可能とするデータ指定手段と、前記データ指定手段により指定されたデータのデータ形式(バイナリ形式)を、データ加工が容易なデータ形式(テキスト形式)に変換するデータ形式変換手段とを備えた。
請求項（抜粋）：
半導体製造のための処理結果を生産情報データとして収集する生産情報データ収集手段と、前記生産情報データ収集手段により収集されたデータの少なくとも一部をオペレータにより指定可能とするデータ指定手段と、前記データ指定手段により指定されたデータのデータ形式を、データ加工が容易なデータ形式に変換するデータ形式変換手段とを備えてなる半導体製造装置。
引用特許：
引用文献：
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