特許
J-GLOBAL ID：200903092374710270

変換装置

発明者：
池田 雅春

池田 雅春 について

, 
江刺 正喜

江刺 正喜 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 役 昌明 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-213432
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028462
出願日： 1998年07月14日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 圧力センサーなどの変換装置において、寄生容量による検出感度低下を防止するとともに、静電結合による外部雑音の混入を防止する。【解決手段】 半導体基板100の主表面にガード電極116を設け、その上に絶縁層を介して固定電極111を形成する。さらにその上にダイヤフラムで空洞を形成し、ダイヤフラムの層間に可動電極161を形成する。基板100の従表面から空洞に至る基板貫通孔190を設ける。ガード電極116の電位を固定電極111の電位と同一にするように駆動する演算増幅器を設けて、固定電極111と可動電極161間の容量変化をダイヤフラムの変位に直接関係した電圧に変換する。固定電極111とガード電極116との間の実効的な静電容量を極めて小さな値にできるので、微小な容量変化が検出でき、感度の低下を防げる。また、基板100の従表面方向から到来する電気力線から固定電極111を遮蔽できる。さらに、固定電極111の下層に回路を配置でき、装置を小型にできる。
請求項（抜粋）：
基板の主表面上に形成されたガード電極と、前記ガード電極の上部に形成された絶縁層と、前記絶縁層の上部に形成された固定電極と、前記ガード電極の電位が前記固定電極の電位と等しくなるように前記ガード電極を駆動する緩衝増幅手段とを具備することを特徴とする変換装置。
Fターム (9件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF38 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG11
引用特許：
審査官引用 (2件)

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