特許

J-GLOBAL ID：200903092411323681

ヒータ

発明者： 木村 正敏 ,  森本 幸裕 ,  柄沢 武
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351692
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151730
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構造でありながらも、発熱体から効率よく赤外線領域が放射され、しかも、どのような姿勢であっても、或いは、断続的に通電を繰り返しても発熱体が変形断線することがないヒータを提供することにある。【解決手段】 本発明のヒータは、カーボンを主成分とした発熱体1の表面に窒化ボロン2を被覆し、発熱体1であるカーボンの結晶構造が六方晶であり、窒化ボロン2の結晶構造も六方晶であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

カーボンを主成分とした発熱体の表面に窒化ボロンを被覆し、発熱体であるカーボンの結晶構造が六方晶であり、窒化ボロンの結晶構造も六方晶であることを特徴とするヒータ。

IPC (2件)：

H05B 3/14 ,  H05B 3/10

FI (2件)：

H05B 3/14 F ,  H05B 3/10 B

Fターム (7件)：

3K092PP09 ,  3K092QA04 ,  3K092QB14 ,  3K092QB27 ,  3K092QB60 ,  3K092VV26 ,  3K092VV28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• セラミックスヒーターおよびそれを用いた基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-341916   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 圧電体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-237349   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-289022   出願人：住友電気工業株式会社