特許
J-GLOBAL ID：200903092433109500

液剤塗布装置

発明者：
伊東 良真

伊東 良真 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201447
公開番号（公開出願番号）：特開平10-043654
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】 塗布された液剤パターンの線幅、膜厚、断面積並びに塗布開始点及び終点の位置及び断面積を測定し、所望の値が得られるように、塗布された液剤パターンの状態に影響を与えるパラメーターを自動で変更することができる液剤塗布装置を提供する。【解決手段】 スリット光源1、カメラ2、照明3及びハーフミラー4からなる測定手段によって測定したデーターから、演算処理手段5によって最適な塗布条件を算出し、演算処理手段5が液剤吐出制御手段6の塗布条件を設定する。液剤吐出制御手段6は、設定された塗布条件に基づいてノズル7に充填されている液剤をニードル8から吐出させる。そして、テーブル駆動機構9によってテーブル10を駆動し、テーブル10上に載置した被塗布体11上に描画して液剤パターン12を塗布する。
請求項（抜粋）：
ノズル先端部のニードルから液剤を被塗布体上に塗布し、任意の液剤パターンを形成する液剤塗布装置において、前記被塗布体上に塗布した前記液剤パターンを測定する測定手段と、前記測定手段から得られたデーターによって最適な塗布条件を算出し、前記塗布条件に設定する演算処理手段とを有することを特徴とする液剤塗布装置。
引用特許：
審査官引用 (5件)
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