特許
J-GLOBAL ID：200903092437743441
薄膜磁気ヘッドの製造方法および薄膜磁気ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三反崎 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196461
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023115
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 磁極幅を縮小化した場合においても、磁極幅の正確な制御と十分なオーバーライト特性を実現し得る薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 上部磁極17の中間部17bと先端部17cとの連結部に、ほぼ直角な幅方向の段差面17dを設ける。この段差面17dは、段差面17dと先端部17cの側縁面とが交わる部分に、第1のコーナー部17eを有する。上部磁極17を形成する際のフォトリソグラフィ処理に、ポジティブ型フォトレジストを使用し、また露光時のフォトマスク81には、上部磁極17の第1のコーナー部17eに対応する箇所に鋭角部を含む形状からなる凸部81fを設ける。これにより、上部磁極17の第1のコーナー部17eには、くさび状窪み17fが形成される。よって、スロートハイトを変更しても記録トラック幅が変化せず、記録トラック幅の拡大防止が可能となる。また、磁束飽和の発生しない、安定したオーバーライト特性が得られる。
請求項（抜粋）：
磁気的に連結され、かつ記録媒体に対向する側の一部がギャップ層を介して対向する2つの磁極を含む少なくとも2つの磁性層と、これらの少なくとも2つの磁性層の間に絶縁層を介して配設された薄膜コイル部とを備えると共に、前記2つの磁性層のうちの少なくとも一方の磁性層が、記録媒体に対向する記録媒体対向面から前記絶縁層における記録媒体に近い側の端縁部またはその近傍にかけて延在し記録媒体の記録トラックの幅を規定する一定幅を有する第1の磁性層部分と、第1の磁性層部分の幅よりも大きな幅を有し前記絶縁層の前記端縁部またはその近傍において前記第1の磁性層部分と磁気的に連結し、記録媒体対向面から遠ざかる方向に延在する第2の磁性層部分を有し、第1の磁性層部分と第2の磁性層部分との連結部に幅方向の段差面が形成され、前記第1の磁性層部分の側縁面と前記段差面とが交わる部分に第1のコーナー部分が形成され、前記第2の磁性層部分の側縁面と前記段差面とが交わる部分に第2のコーナー部分が形成された薄膜磁気ヘッドを製造するための方法であって、前記第1の磁性層部分および第2の磁性層部分の形状に対応する基本形状を有する遮光マスクを用いて、フォトリソグラフィ処理を行い、所定の形状のフォトレジストパターンを形成する工程と、形成されたフォトレジストパターンを用いて前記少なくとも一方の磁性層を選択的に形成する工程とを含み、前記遮光マスクが、前記フォトレジストパターンのうち、前記少なくとも一方の磁性層の前記第1のコーナー部分に対応する部分に突起部を形成し得る所定の形状を有するようにしたことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
FI (2件)：
G11B 5/31 C
, G11B 5/31 D
5D033BA07
, 5D033BA08
, 5D033BA13
, 5D033CA01
, 5D033DA07
, 5D033DA08
