特許

J-GLOBAL ID：200903092453003253

有機層蒸着装置

発明者： スティーブン エー.バン スリーク ,  マイケル エー.マーカス ,  ジョン ピー スプーンハーワー ,  ロバート ジー.スパーン ,  デニス アール.フリーマン
出願人/特許権者： イーストマン コダック カンパニー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-115916
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007462
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】【課題】 有機発光装置の製造における有機層蒸着工程の監視及び制御を改良するための装置を提供すること。【解決手段】 本装置は、a)チェンバー及び減圧ポンプと、b)有機材料蒸着ソース及び該有機材料の蒸着速度を制御するための手段と、c)該構造体の位置を定めるための手段と、d)可動部材と、e)該可動部材は、該有機材料が該構造体に蒸着するのと同時に該ソースから該有機材料を受容するために蒸着ゾーンに配置される部分を有し、f)該可動部材の該部分に蒸着した有機材料の厚みを感知する第一の光学的感知手段と、g)該第一の光学的感知手段によって感知される有機材料の厚みに応答する電気的手段と、h)該有機層の蒸着速度及び厚みを制御するための手段と、i)該可動部材に蒸着した有機材料を除去するためのクリーニング手段とを備える。

請求項（抜粋）：

有機発光装置の一部となる構造体の上に蒸発または昇華した有機層を蒸着させるための装置であって、a) チェンバーを画定するハウジング、及びその中の圧力を下げるために該チェンバーに接続されたポンプと、b) 蒸発または昇華させる有機材料を受けるためのソース、及び該ソースの温度を調整して該有機材料が蒸発または昇華する速度を制御するために該ソースに接続された手段と、c) 該構造体が蒸着ゾーンにおいて該ソースから間隔を置いて配置されるように該構造体の位置を定めるための手段と、d) 移動経路に沿って複数のポジションを移動する可動部材と、e) 前記可動部材は、第一のポジションにおいて、該有機材料が該構造体に蒸着するのと同時に該ソースから該有機材料を受容するために該蒸着ゾーンに配置される部分を有し、f) 該可動部材の該部分に蒸着した該有機材料の厚みを感知するために、該蒸着ゾーン外部に該可動部材に対して相対的に第二のポジションに配置された第一の光学的感知手段と、g) 該第一の光学的感知手段に接続され、かつ、該第一の光学的感知手段によって感知された該有機材料の厚みに応答する電気的手段と、h) 該温度制御手段を調整して該構造体上に形成される該有機層の蒸着速度及び厚みを制御するための手段と、i) 該部材の該部分を該蒸着ゾーンにおいて再利用できるように、該部分に蒸着した有機材料を全面的にまたは部分的に除去するために、該部材の移転経路に沿って蒸着ゾーン外部に該第一の光学的感知手段を越えて第三のポジションに配置されたクリーニング手段と、を備える、装置。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/54 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/54 E ,  H05B 33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DA09 ,  4K029EA00 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 多色発光性有機電界発光素子及び有機電界発光素子の多色発光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-055244   出願人：新日鐵化学株式会社, 森竜雄, 水谷照吉
• 膜の物理的性質をモニタするモニタリング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-334523   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭63-064290
  
• 特開昭63-064290