光照射装置及び光照射ユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：赤澤一博 , 井上敬子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-207395
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077123
出願日： 2002年07月16日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】光ファイバを介在させて光照射装置と光源装置とを分離した照明システムの特徴を活かしつつ、集光面積や集光効率の点で近時のワーク検査の要求に十分対応できるものを提供する。【解決手段】光照射装置6A側においては、筐体の構造を。各光ファイバの光射出端それぞれにレンズを一つ一つ近接又は密接させて保持するようにし、光源装置側においては、LEDから照射される照射光を略平行な光にする光源用第1レンズと、前記光源用第1レンズからの光を集光し前記光ファイバ束の光射出端に導入する光源用第2レンズとを共通のケーシングに設けるようにした。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

複数の光ファイバからなる光ファイバ束を介して導入された光を照射対象部位に照射するものであって、筐体に、前記各光ファイバの光射出端部を離散配置した状態で保持するファイバ保持部と、前記各光ファイバの光射出端それぞれにレンズを一つ一つ近接又は密接させて保持するレンズ保持部とを具備させていることを特徴とする光照射装置。

IPC (4件)：

G01N21/84 , G02B6/32 , G02B6/42 , H01L33/00

FI (4件)：

G01N21/84 E , G02B6/32 , G02B6/42 , H01L33/00 M

Fターム (35件)：

2G051AA65 , 2G051BA08 , 2G051BA20 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051BC03 , 2G051BC04 , 2G051BC10 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2H037AA03 , 2H037BA03 , 2H037BA05 , 2H037CA13 , 2H037CA21 , 2H037CA40 , 2H037DA04 , 2H037DA05 , 2H037DA06 , 2H037DA11 , 2H037DA38 , 5F041AA06 , 5F041BB03 , 5F041BB13 , 5F041BB33 , 5F041CA12 , 5F041DA12 , 5F041DA14 , 5F041DA19 , 5F041DA20 , 5F041DB09 , 5F041EE04 , 5F041EE06 , 5F041EE16 , 5F041FF11

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面検査装置における照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-045028 出願人：株式会社モリテックス
パターン検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-096569 出願人：日本アビオニクス株式会社
特開昭63-048445

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