特許

J-GLOBAL ID：200903092513527583

シート状のターゲット材を用いたプラズマによるX線発生

発明者： ファウベル,マンフレート ,  アーベル,ベルント ,  ハルヴァート,アレス ,  ルーゴヴォイ,エフゲニ ,  アスマン,イェンス ,  トロー,ユルゲン
出願人/特許権者： マックス プランク ゲゼルシャフト ツゥアー フェデルゥン デル ヴィッセンシャフテン エー フォー ,  ゲオルク アウグスト ウニヴェルジテート ゲッティンゲン
代理人 (2件)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-515878
公開番号（公開出願番号）：特表2006-527469
出願日： 2004年06月09日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：

【課題】プラズマによるX線発生を改善する。【解決手段】減圧チャンバ(20)内でターゲット材(50)を自由な流動構造体(51)の形状で提供する工程と、プラズマ状態を生成して、そのプラズマ(状態)からX線が放射されるようにするためにターゲット材(50)に照射する工程を用いた、プラズマによるX線発生方法を開示する。この流動構造体(51)は、ターゲット材が少なくとも照射の位置において局所的に曲率の最小値を持った表面(52)を有するように形成される。また本方法を実施するための装置、具体的にはプラズマによるX線発生のためのX線源も開示される。

請求項（抜粋）：

ターゲット材(50)を自由な流動構造体(51)の形状で減圧チャンバ(20)内に用意する工程と、 プラズマ状態を生成し、そのプラズマ状態でプラズマからX線を放射するために、前記ターゲット材(50)に照射する工程と、 を備えるプラズマによるX線発生方法であって、 前記流動構造体(51)は、前記ターゲット材が少なくとも照射位置において、曲率が局所的に最小値となる表面(52)を有するように形成されることを特徴とするプラズマによるX線発生方法。

IPC (3件)：

H05G 2/00 ,  H01L 21/027 ,  G21K 5/08

FI (3件)：

H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S ,  G21K5/08 X

Fターム (8件)：

4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB21 ,  4C092AC09 ,  4C092BD05 ,  4C092BD18 ,  5F046GA14 ,  5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 欧州特許第186491号公報
  
• 欧州特許第186401号公報
  
• 米国特許第5459771号公報
  
• 国際公開第97/40650号公報
  
• 米国特許第6377651号公報
  
• 米国特許第6324255号公報
  

審査官引用 (6件)

• 放射線を生じさせる方法および装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-504579   出願人：ジェテック・アクチエボラーグ
• 高流速・高エネルギー光子供給源
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-588731   出願人：パワーレイズ・リミテッド
• LPP光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-110393   出願人：ギガフォトン株式会社
• X線発生方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232038   出願人：科学技術振興事業団
• 半導体製造工程用のリソグラフィ光源を提供するためのシステムおよび方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-617700   出願人：アドヴァンスドエナジーシスティムズインク
• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-265887   出願人：株式会社ニコン