近接場光走査型顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154906
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021844
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】試料の観察光学系を兼ね備えた近接場光走査型顕微鏡を提供する。【構成】試料56は適当な液体を介在させて液浸対物レンズ44の上に載置される。試料56の上には、スキャナー22により走査可能に支持されたプローブ12が配置される。プローブ12は光ファイバー14を介して光検出器16に光学的に結合されている。試料56の斜め上方には、試料56を照明する照明装置48が設けられている。液浸対物レンズ44の下には、結像レンズ40、瞳投影レンズ36、瞳結像レンズ32が配置されている。投影瞳34の位置には、その中央部を通過する光を接眼光学系52へ偏向する瞳分割ミラー50が配置されている。瞳結像レンズ32の下には、光源26から射出された光ビームを偏向するミラー30がその向きを調整できるように支持されている。また、試料56の界面で全反射した光ビームを遮光する遮光板50が配置されている。

請求項（抜粋）：

先端に微小な開口を持ち、先端を試料に近づけて配置される、その内部を光が伝搬し得るプローブと、プローブを試料面に沿って相対的に移動する移動手段と、試料を光学的に観察する観察光学系と、エバネッセント波を発生させるための光ビームを射出する光源手段と、光ビームが光学界面で全反射するように光ビームを試料に入射させるビーム入射手段と、プローブの開口を通って内部に伝搬した光の強度を検出する光検出手段と、を備え、ビーム入射手段と観察光学系は、試料を挟んでプローブの反対側に配置される共用する対物レンズを含んでいる、近接場光走査型顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 11/30 102

引用特許：

審査官引用 (7件)

走査プローブ型顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-069401 出願人：株式会社ニコン
特開平4-291310
特開平1-239407

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