特許
J-GLOBAL ID：200903092546846854
電磁力モータ、ステージ装置および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229739
公開番号（公開出願番号）：特開平11-164543
出願日： 1998年08月14日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】本発明は、ローレンツ力を利用して推力を発生させる電磁力モータに関し、高い磁束密度を発生させて高推力化、高効率化を達成でき、永久磁石に減磁界を作用させず、また永久磁石の焼き付けを防止した電磁力モータを提供することにある。【解決手段】隣り合う同極同士を対向させて、所定のピッチPで一方向に並列させた複数の永久磁石10と、複数の永久磁石10間に挿入されてピッチPで一方向に並列した複数のヨーク12とを有する磁極ユニット2と、所定の空隙を介して磁極ユニット2と対向し、ピッチPに等しい間隔で巻回された電機子コイル8,14と、電機子コイル8,14を一方向に並列するように固定する磁性体からなるコア6,16とを有する推力発生ユニット4とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
隣り合う同極同士を対向させた複数の磁石と、前記複数の磁石間に挿入される複数のヨークとを有する磁極ユニットと、所定の空隙を介して前記磁極ユニットと対向した複数の電機子コイルと、前記複数の電機子コイルを固定するコアとを有する推力発生ユニットとを備えることを特徴とする電磁力モータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02K 41/03 A
, H01L 21/30 503 A
