特許

J-GLOBAL ID：200903092586747131

発光装置

発明者： 岡本 悟 ,  物江 滋春 ,  横島 尚
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-381790
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214010
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】開口率を向上させ、光の取り出し効率を改善させる構成を有する発光素子において、当該素子を形成する際に起こるエッチング残渣の問題を解決しカバレッジ不良やショートなどによる不具合を低減させ、信頼性を大幅に改善することが可能である発光素子及びその作製方法を提供することを課題とする。【手段】光の取り出し効率を改善させる構成を有する発光素子において、4層構造を有する第1の電極の材料をTi/TiN/Al(又はAl-Ti)/Ti(またはTiN)とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁表面を有する基板上に、薄膜トランジスタと接続された第1の電極と、 前記第1の電極の端部を覆う絶縁物と、 前記第1の電極上に接する有機化合物を含む層と、該層上に接する第2の電極とを有する発光素子であって、 前記第1の電極は第1の層、第2の層、第3の層、第4の層の4層で形成されている端部と前記第1及び前記第2の層の2層で形成されている中央部があり、 前記第1の電極は前記端部と前記中央部の間に傾斜面を有しており、 前記第1の層はチタンでなり、前記第2の層は窒化チタンでなり、前記第3の層はアルミニウムまたはチタンを含有するアルミニウムでなり、前記第4の層はチタンまたは窒化チタンでなることを特徴とする発光装置。

IPC (4件)：

H05B33/26 ,  H01L21/3205 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22

FI (4件)：

H05B33/26 Z ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H01L21/88 R

Fターム (32件)：

3K007AB03 ,  3K007AB08 ,  3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CC00 ,  3K007CC01 ,  3K007DB03 ,  3K007EA00 ,  3K007FA00 ,  5F033HH08 ,  5F033HH10 ,  5F033HH18 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ10 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK04 ,  5F033MM08 ,  5F033MM20 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR05 ,  5F033RR06 ,  5F033RR07 ,  5F033RR08 ,  5F033RR09 ,  5F033RR14 ,  5F033RR15 ,  5F033RR21 ,  5F033VV15

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 有機EL表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-161464   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 有機EL素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-345071   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 有機EL素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-393169   出願人：ソニー株式会社
• 有機EL表示装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-146624   出願人：ティーディーケイ株式会社

審査官引用 (2件)

• 有機EL表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-161464   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 有機EL素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-345071   出願人：ティーディーケイ株式会社