特許
J-GLOBAL ID：200903092602489377
圧電振動片の電極形成方法、圧電振動片の電極形成用マスク、圧電振動子および圧電発振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-120220
公開番号（公開出願番号）：特開2002-314358
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：
【要約】【課題】逆メサ型圧電振動片に対して物理蒸着法により、正確な位置に、所望形状の主電極を、低コストで形成可能な、圧電振動片の電極形成方法および圧電振動片の電極形成用マスクの提供を目的とする。【解決手段】逆メサ型圧電振動片4における主電極形成部分4aの周縁に向けた突起14を、電極形成用マスク10の開口部16における主電極形成部分16aの周縁に形成するとともに、逆メサ型圧電振動片4を形成したウエハ3における所定位置に形成した嵌合凹部5と嵌合可能な嵌合凸部15を、所定位置に形成した電極形成用マスク10とした。
請求項（抜粋）：
主電極形成部分の圧電材料の厚さを他の部分より薄く形成した圧電振動片に対して物理蒸着法により主電極を形成する方法であって、前記圧電振動片における前記主電極形成部分の周縁に向けた突起を電極形成用マスクの開口部における主電極形成部分の周縁に形成し、前記電極形成用マスクを介して前記圧電振動片に電極材料を物理蒸着させることにより、所望寸法の前記主電極を形成可能としたことを特徴とする圧電振動片の電極形成方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H03H 9/10
H03H 3/02 B
, H03H 9/10
, H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 C
, H01L 41/08 U
