特許

J-GLOBAL ID：200903092636829100

分子状汚染物質の分析方法

発明者： 神戸 正純
出願人/特許権者： 新日本空調株式会社
代理人 (1件)： 永井 義久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-119304
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325204
出願日： 2003年04月24日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】クリーンルーム構成材料から発生し被処理物に吸着した分子状汚染物質を分析する方法について、実際のクリーンルーム環境に近似させ、もって測定精度を向上させる。【解決手段】クリーンルーム構成材料S及び被処理材Pを同一容器2内に存在させる。クリーンルーム構成材料Sから発生し被処理材Pに吸着した分子状汚染物質を分析するについて、容器2内に構成材料S表面における風速が3×10-5〜7×10-4m/sとなることが予定される流量のキャリアガスGを流通させるとともに、容器S内を攪拌して構成材料S表面におけるキャリアガスGの風速を予定値から所定値に速める。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

クリーンルーム構成材料及び被処理材を同一容器内に存在させ、前記クリーンルーム構成材料から発生し前記被処理材に吸着した分子状汚染物質を分析する方法であって、 前記容器内に前記構成材料表面における風速が3×10-5〜7×10-4m/sとなることが予定される流量のキャリアガスを流通させるとともに、前記容器内を攪拌して前記構成材料表面におけるキャリアガスの風速を予定値から所定値に速める、ことを特徴とする分子状汚染物質の分析方法。

IPC (2件)：

G01N1/22 ,  G01N1/28

FI (2件)：

G01N1/22 L ,  G01N1/28 L

Fターム (21件)：

2G052AA03 ,  2G052AA13 ,  2G052AB11 ,  2G052AD22 ,  2G052AD32 ,  2G052AD42 ,  2G052CA03 ,  2G052CA12 ,  2G052EA03 ,  2G052EB12 ,  2G052ED01 ,  2G052ED03 ,  2G052ED07 ,  2G052ED09 ,  2G052FB02 ,  2G052FB07 ,  2G052FD17 ,  2G052GA24 ,  2G052GA27 ,  2G052HA15 ,  2G052JA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-065854   出願人：株式会社東芝