特許
J-GLOBAL ID：200903092669799222

薄膜積層体の製造方法および製造装置

発明者：
山崎 明夫

山崎 明夫 について


出願人/特許権者：
ニュー・クリエイト株式会社

ニュー・クリエイト株式会社 について


代理人 (1件)： 曽々木 太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-226214
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052956
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 機構を複雑化することなく、部材の熱膨張による製品精度への悪影響を解消することができる薄膜積層体の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 セラミックシートGが載置されているキャリアフィルムFを搬送するフィルム搬送機構と、前記セラミックシートGを所定サイズのシート片に切断する切断機構Cと、前記シート片を保持して切断位置から積層位置まで搬送するシート搬送機構3と、前記シート搬送機構3を前記切断位置から積層位置まで搬送するボールネジ機構16と、前記シート搬送機構3の移動に同期して移動するようにされているCCD撮像装置21Aと、前記CCD撮像装置21Aからの画像を処理する画像処理手段21Bとを備え、前記画像処理手段21Bからの補正移動量により前記シート搬送機構3の移動量が補正されてなるものである。
請求項（抜粋）：
薄膜状の搬送媒体に載置されて搬送されている薄膜シートを所定サイズに切断して薄膜シート片を得、前記薄膜シート片を積層個所にボールネジ機構により搬送して積層する薄膜積層体の製造方法であって、前記薄膜シートの切断位置の位置決めを、前記薄膜シート片の搬送に同期して移動する撮像手段により撮像された画像に基づいてなすことを特徴とする薄膜積層体の製造方法。
IPC (5件)：
H01G 4/30 311 ,  H01G 4/30 ,  B26D 1/24 ,  B26D 5/34 ,  B26D 7/06
FI (5件)：
H01G 4/30 311 A ,  H01G 4/30 311 F ,  B26D 1/24 H ,  B26D 5/34 B ,  B26D 7/06 B
Fターム (18件)：
3C021DA02 ,  3C021DA06 ,  3C021DA13 ,  3C024FF02 ,  5E082AB03 ,  5E082BC40 ,  5E082EE04 ,  5E082EE23 ,  5E082EE35 ,  5E082FF05 ,  5E082FG06 ,  5E082FG26 ,  5E082FG46 ,  5E082LL01 ,  5E082MM11 ,  5E082MM21 ,  5E082MM22 ,  5E082MM23
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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