特許

J-GLOBAL ID：200903092707735764

X線検査装置およびX線検査方法

発明者： 原 幸寛
出願人/特許権者： 株式会社リガク
代理人 (2件)： 福地 武雄 ,  白川 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-284715
公開番号（公開出願番号）：特開2009-109447
出願日： 2007年11月01日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】迅速に3次元的な位置情報を得ることで効率的に精度の高い検査を行うことができるX線検査装置およびX線検査方法を提供する。【解決手段】被検査体SにX線を照射するX線源110と、被検査体SのX線透過像を、それぞれ異なる照射角度範囲で検出する複数の検出領域を有するX線検出器140と、被検査体を移動可能に支持する移動用ステージ120と、を備え、移動用ステージ120は、一つの被検査体Sに対し複数の照射角度範囲のX線透過像を検出できるように被検査体Sを移動させて、検査を行う。これにより、一つの被検査体Sについて、異なる照射角度範囲のX線透過像が得られ、複数のX線透過像から3次元的な位置情報を得ることができる。また、一回の検出で複数の検出領域についてX線透過像のデータを得て、効率的に精度の高い検査を行うことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査体にX線を照射するX線源と、 前記被検査体のX線透過像を、それぞれ異なる照射角度範囲で検出する複数の検出領域を有するX線検出器と、 前記被検査体を移動可能に支持する移動用ステージと、を備え、 前記移動用ステージは、一つの前記被検査体に対し複数の照射角度範囲のX線透過像を検出できるように前記被検査体を移動させて、検査を行うことを特徴とするX線検査装置。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (21件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001FA16 ,  2G001GA03 ,  2G001GA05 ,  2G001GA08 ,  2G001GA13 ,  2G001HA07 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA12 ,  2G001JA20 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• X線検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-258610   出願人：松下電器産業株式会社