特許
J-GLOBAL ID：200903092753020443

インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者：
釜 博文

釜 博文 について

, 
渡辺 修

渡辺 修 について

, 
野田 恭司

野田 恭司 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298047
公開番号（公開出願番号）：特開平9-136421
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットプリンタに使用される記録ヘッドにおいて、インクの付着や目詰まりを回避し、印字品質の低下を防ぐことができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 オリフィスプレート5の表面を、プラズマ、イオンミリング、逆スパッタの少なくとも1種以上の工法により処理した後、撥水層7を形成させることにより撥水層7の密着力を向上させることができる。接合樹脂層4側及びオリフィスプレート5の撥水層7側に接合樹脂層側の耐熱性樹脂シート18a及びオリフィス側の耐熱性樹脂シート18bを貼り付けた状態で、インク沸騰室9及びオリフィス6をパルスレーザー加工により形成することにより、エキシマ加工で発生した副生成物15を完全に除去することができる。
請求項（抜粋）：
オリフィス表面に撥水層を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、オリフィスプレートにパルスレーザーを照射して前記オリフィスを形成した後、イオンブローによって前記パルスレーザー加工時に発生した副生成物を除き、さらに、前記オリフィス表面をプラズマ、イオンミリング、逆スパッタの少なくとも1種以上の方法により処理し、その後、前記オリフィス表面に撥水層を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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