特許
J-GLOBAL ID:200903092777406938

基板検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉田 茂明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-117877
公開番号(公開出願番号):特開平9-304466
出願日: 1996年05月13日
公開日(公表日): 1997年11月28日
要約:
【要約】【課題】 回路基板の検査を能率良く行う。【解決手段】 回路基板4の電気特性や導通等の検査を行うインサーキット検査、および回路基板4上の素子の動作チェック等を行う機能検査の両方に対応可能な複数の基板接触子5を有する基板検査治具1を設ける。セパレータ2により、インサーキット検査および機能検査のうち実行すべき検査に対応して、基板検査治具1の複数の基板接触子5のうち必要な基板接触子5を能動化するとともに、残りの基板接触子5が実行すべき検査に電気的な影響を与えないように処理する。制御手段3は、セパレータ2を実行すべき検査に対応した状態に選択設定するとともに、基板検査治具1に対して実行すべき検査に対応する制御を行う。
請求項(抜粋):
回路基板の電気特性や導通等の検査を行うインサーキット検査、および回路基板上の素子の動作チェック等を行う機能検査の両方に対応可能な複数の基板接触子を有する基板検査治具と、前記基板検査治具の複数の基板接触子のうち実行すべき検査に対応する基板接触子を能動化するとともに、残りの基板接触子が実行すべき検査に電気的な影響を与えないように処理するセパレータと、前記セパレータを実行すべき検査に対応した状態に選択設定し、前記基板検査治具に対して実行すべき検査に対応する制御を行う制御手段とを備えた基板検査装置。
IPC (2件):
G01R 31/02 ,  G01R 31/28
FI (2件):
G01R 31/02 ,  G01R 31/28 J
引用特許:
審査官引用 (2件)

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