特許
J-GLOBAL ID：200903092779757452
気相化学蒸着方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福井 宏司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-568802
公開番号（公開出願番号）：特表2004-529835
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
水素及びメタンガスを主原料に金属フィラメントを熱源にして気相化学蒸着法(CVD)でダイヤモンドを合成する装置において、金属フィラメントを1回設けて既存の方式等が1回の使用に限定されるのとは異なり、フィラメントを反復的に破壊なく使用可能にするフィラメントの設置方法及びこれを可能にする電極に関する。電源の供給によりフィラメントが発熱してダイヤモンドが合成される中央の基材上に互いに対向して電極を設け、両電極の上部面にはフィラメントが接触しながらかけられる支持部領域を設け、前記支持部領域ではフィラメントが発熱しないようにし、前記電極の上部面にかけられる前記フィラメントに張力を与えるためフィラメントの終端に重力だけを利用した独立的な重さを有する錘を設けることを特徴とする。その結果、高温でフィラメントの自重による弛み防止と、1回の設置で金属フィラメントの反復的な使用を行うことができる。
請求項（抜粋）：
高温下で気相の原料を分解する熱源として高温の金属フィラメントを用い、メタンと水素ガスとを主原料に気相化学蒸着によりダイヤモンドを合成する気相化学蒸着方法において、
電力の供給によりフィラメントが発熱してダイヤモンドが合成される中央の基材上に一対の電極を配設し、両電極の上部面にはフィラメントが接触しながら架けられる支持部領域を設け、前記支持部領域ではフィラメントが発熱しないようにすることを特徴とする気相化学蒸着方法。
IPC (3件)：
C30B29/04
, C23C16/27
, H01L21/205
C30B29/04 G
, C23C16/27
, H01L21/205
4G077AA03
, 4G077BA03
, 4G077DB21
, 4G077EG30
, 4G077EJ10
, 4G077HA20
, 4G077TB01
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030FA17
, 4K030KA45
, 5F045AA16
, 5F045AB07
, 5F045AD12
