特許

J-GLOBAL ID：200903092780337572

角速度センサ

発明者： 兵頭 聡
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  植木 久一 ,  伊藤 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-128882
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308657
出願日： 2004年04月23日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】 振動子の励振振動の減衰を抑制しつつ、励振のための駆動信号の角速度検出への影響を抑制し、それにより角速度の検出精度を高める。【解決手段】 角速度センサのセンシング部では、振動子が基板上に浮遊した状態で弾性的に支持され、これに対向するように固定電極が基板上に立設されている。振動子の共振周期をTとし、振動子が平衡位置にある時期を起点0としたときに、駆動回路は、(3/4)×T〜1×Tの期間内に設定された区間P1においてのみ固定電極に駆動信号を印加することにより振動子を励振する。角速度検出回路は、(1/2)×Tの時期を含む区間P2において振動子と固定電極との間の静電容量を検出することにより角速度を検出する。駆動検出回路は、(3/4)×Tの時期を含む区間P3において、振動子と固定電極との間の静電容量を検出することにより励振振動の振幅を検出する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

基板上に浮遊した状態で弾性的に支持された振動子と、 前記振動子に対向して前記基板上に固定され、互いに同一部分であることを許した駆動用固定電極、駆動検出用固定電極及び角速度検出用固定電極を含む固定電極と、 前記駆動用固定電極に駆動信号を印加することにより前記駆動用固定電極と前記振動子との間に静電引力を発生させ、当該静電引力によって前記振動子を第1方向に励振する駆動回路と、 前記振動子と前記駆動検出用固定電極との間の静電容量を検出することにより前記振動子の前記第1方向に沿った振動の振幅を検出する駆動検出回路と、 前記振動子と前記角速度検出用固定電極との間の静電容量を検出することにより前記振動子の前記第1方向に垂直な第2方向に沿った振動の振幅を検出し、それにより前記第1方向及び前記第2方向の双方に垂直な第3方向の角速度成分を検出する角速度検出回路とを備え、 前記駆動回路は、前記駆動検出回路が検出する前記振幅を一定にするように前記駆動信号の強さを調整し、 前記振動子の共振周期をTとし前記振動子が平衡位置にある時期を起点0としたときに、前記駆動回路は(3/4)T〜1×Tの期間内に設定された第1区間においてのみ前記駆動用固定電極に前記駆動信号を印加し、前記角速度検出回路は(1/2)×Tの時期を含む期間として設定された第2区間において前記静電容量を検出し、前記駆動検出回路は、(3/4)×Tの時期を含む期間として設定された第3区間において前記静電容量を検出し、 前記第1乃至第3区間は、互いに重複しないように設定されている角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (8件)：

2F105BB02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB07 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ヨーレートセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-252871   出願人：株式会社デンソー
• 物理量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-275198   出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー