特許
J-GLOBAL ID：200903083633057352
物理量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275198
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083749
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構造から効率よく、より低コスト化を図ることができる物理量センサを提供する。【解決手段】 可動電極1a〜1dと固定電極2a〜2dとの間に印加するキャリア信号電圧PW1〜PW4を、検知方向における静電容量変化を検出する場合と振動方向における静電容量変化を検出する場合とで時間的に切り替える。そして、振動子1の電圧を、振動子1から一本の信号線でつながるC-V変換回路部4に出力すると共に、各状態の電位を第1〜第4サンプルホールド回路5a〜5dに記憶させる。そして、第1、第2のサンプルホールド回路5a、5bの差動や第3、第4のサンプルホールド回路5c、5dの差動を、第1、第2差増増幅回路部6、7で求める。これにより、振動モニタリングとコリオリ力検知が行える角速度センサとすることができる。
請求項（抜粋）：
可動電極(1a〜1d)を有し、平面基板表面において、2軸直交座標方向に変位可能に支持されてなる可動部(1)と、前記可動部の可動電極と対向する固定電極(2a〜2d)を有してなる固定部(2)とを備え、前記可動部に備えられた可動電極と前記固定部に備えられた固定電極とによって、前記2軸直交方向に静電容量を形成し、前記可動部が前記2軸直交座標方向のいずれかの方向の振動を前記2軸直交方向の静電容量変化に基づいて検出する物理量センサにおいて、前記可動電極と前記固定電極との間に印加するキャリア信号電圧(PW1〜PW4)を、前記2軸直交方向の各方向毎に時間的に切り替え、前記振動子から一本の信号線で、2軸方向の変位の検出を行うようになっていることを特徴とする物理量センサ。
IPC (5件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
, G01P 15/18
, H01L 29/84
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
, G01P 15/00 K
2F105AA02
, 2F105BB12
, 2F105BB15
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
, 2F105CD13
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112FA01
, 4M112FA20
