傾いた共振器で偏光特性が制御された面発光レーザダイオードの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112656
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181391
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】垂直共振型面発光レーザダイオードの発振ビームの対称性を保ちながら、発光される光の偏光方向を簡単に制御する。【解決手段】垂直共振型の面発光レーザダイオードの共振器を基板の法線に対して5°-45°傾けて形成する。傾ける方向は、所望の偏光方向と垂直な方向にする。

請求項（抜粋）：

傾けられた共振器で偏光特性が制御された面発光レーザダイオードの製造方法において、共振器を〈110〉あるいは〈1-10〉方向に、5°-45°の角度で傾けて形成することを特徴とするレーザダイオードの製造方法。ただし、〈1-10〉の-1は、1の上に横線を付したものを表す。

引用特許：

審査官引用 (1件)

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