漏洩検査装置及び方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-255482
公開番号（公開出願番号）：特開2007-071545
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】漏洩検査装置及び方法において、漏洩試験における検査精度の向上を図ると共に検査設備や検査コストの増加を抑制可能とする。【解決手段】被検査体Aを収容するフード11を設け、被検査体A内を排気する真空ポンプ16を連結すると共に、フード11にトレースガスを供給するトレースガス供給器13を連結し、また、フード11から被検査体Aに朗詠するトレースガスの漏洩量を検出するリークディテクタ19を設け、漏洩量判定装置22がトレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率αに基づいて被検査体Aの漏洩を判定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査体を収容する容器と、前記被検査体内または前記容器内のいずれか一方を排気する排気手段と、前記被検査体内または前記容器内のいずれか他方にトレースガスを供給するトレースガス供給手段と、前記被検査体と前記容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出する漏洩量検出手段と、前記トレースガス供給手段によるトレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定する漏洩判定手段とを有することを特徴とする漏洩検査装置。

IPC (3件)：

G01M 3/20 , F25B 49/02 , G01M 3/32

FI (3件)：

G01M3/20 A , F25B49/02 A , G01M3/32 A

Fターム (9件)：

2G067AA34 , 2G067BB02 , 2G067BB03 , 2G067BB04 , 2G067BB12 , 2G067CC11 , 2G067DD17 , 2G067DD18 , 2G067EE09

引用特許：

出願人引用 (1件)

漏洩試験方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-349840 出願人：株式会社東芝

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