特許

J-GLOBAL ID：200903092834333144

光学用石英ガラス

発明者： 皆川 和弘 ,  福島 謙輔
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 穂上 照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294930
公開番号（公開出願番号）：特開2001-114528
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】【課題】エキシマレーザ等からの高出力の紫外線透過による光学的特性劣化に対して、すぐれた耐久性を有する石英ガラスの提供。【解決手段】赤外線吸収スペクトルの2260cm-1近傍における吸収ピークの波数が2261〜2270cm-1であり、かつ重量比にてOH基の含有量が200ppm未満である光学用合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

赤外線吸収スペクトルの2260cm-1近傍における吸収ピークの波数が2261〜2270cm-1であり、かつ重量比にてOH基の含有量が200ppm未満であることを特徴とする光学用合成石英ガラス。

IPC (5件)：

C03C 3/06 ,  C03B 20/00 ,  G02B 1/00 ,  G02B 1/02 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

C03C 3/06 ,  C03B 20/00 E ,  C03B 20/00 F ,  G02B 1/00 ,  G02B 1/02 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (15件)：

4G014AH15 ,  4G014AH21 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062MM02 ,  4G062MM04 ,  4G062NN01 ,  4G062NN15 ,  4G062NN20 ,  4G062NN34 ,  5F046CA04 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学部材用合成石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-325521   出願人：旭硝子株式会社