特許

J-GLOBAL ID：200903019185740402

光学部材用合成石英ガラスとその製造方法

発明者： 生田 順亮 ,  下平 憲昭 ,  増井 暁夫 ,  菊川 信也
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325521
公開番号（公開出願番号）：特開2000-154029
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】紫外線照射によってもE’センタによる吸収帯の生成が少なく、耐紫外線性に優れた光学部材用合成石英ガラスとその製造方法の提供。【解決手段】495cm-1の散乱ピーク強度I1 、606cm-1の散乱ピーク強度I2 、および440cm-1の散乱ピーク強度I0 が、I1 /I0 ≦0.57、かつI2 /I0 ≦0.14の関係を満たす光学部材用合成石英ガラスとその製造方法。

請求項（抜粋）：

紫外域から真空紫外域までの光に使用される光学部材用合成石英ガラスの製造方法であって、合成石英ガラスを粘度が1014.5ポアズになる温度T1 (°C)以下、かつT1 -200(°C)で示される温度T2 (°C)以上の温度で保持する工程を含むことを特徴とする光学部材用合成石英ガラスの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C01B 33/18 ,  C03C 3/06

FI (4件)：

C03B 20/00 E ,  C03B 20/00 F ,  C01B 33/18 Z ,  C03C 3/06

Fターム (8件)：

4G014AH15 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062CC07 ,  4G062MM02 ,  4G062NN01 ,  4G072AA30 ,  4G072BB20

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 透明合成シリカガラスからなる光学部材、該光学部材の製造方法及び該光学部材を用いた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-335721   出願人：信越石英株式会社
• 合成シリカガラス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-354751   出願人：日本石英硝子株式会社, 山口日本石英株式会社
• 特開平4-021540
  
• 合成石英ガラスの製造装置およびそれを用いた製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-216130   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-224131
  
• 特開平4-164834