積層型圧電素子及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-283919
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119856
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】セラミック層の層間剥離や,電極間リーク等を発生するおそれが少なく,動作信頼性が高い積層型圧電素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】セラミック層と内部電極層とを交互に積層したセラミック積層体に,一対の外部電極を形成してなる積層型圧電素子を製造する方法である。セラミック積層体を作製するに当たっては,セラミック材料よりなるグリーンシートの表面に,加熱により消失する消失材料よりなる消失部104と,導電性を有する導電材料よりなる導電部103とからなる電極用印刷パターン102を形成する。そして,積層工程では,グリーンシートから打ち抜いた印刷パターン102を有する電極付シート片210を積層する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

セラミック層と内部電極層とを交互に積層してなるセラミック積層体と,該セラミック積層体の外周面における一対の接合面それぞれに設けられた一対の外部電極とを有する積層型圧電素子において, 上記内部電極層は,導電性を有する導電材料よりなる電極部と,該電極部の外周部の一部に配置された弾力性を有する絶縁材料よりなる絶縁部とからなり, 上記各接合面において,上記絶縁部と上記電極部とがその積層方向において1層おきに露出しており, かつ,一方の上記接合面に上記絶縁部を露出させている上記内部電極層は,他方の上記接合面に上記電極部を露出させていると共に,一方の上記接合面に上記電極部を露出させている上記内部電極層は,他方の上記接合面に上記絶縁部を露出させていることを特徴とする積層型圧電素子。

IPC (2件)：

H01L41/083 , H01L41/22

FI (3件)：

H01L41/08 Q , H01L41/08 S , H01L41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭60-229380
積層型圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-337318 出願人：太平洋セメント株式会社
積層型圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-075094 出願人：太平洋セメント株式会社

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