特許

J-GLOBAL ID：200903092861361141

研磨フィルム

発明者： 杉浦 鋭男
出願人/特許権者： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド ,  株式会社ノリタケコーテッドアブレーシブ
代理人 (1件)： 池田 治幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-097054
公開番号（公開出願番号）：特開2002-292572
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月08日
要約：

【要約】【課題】 微細な研磨粒子を用いた精密研磨用の研磨フィルムでも、被研磨物との間に研磨液が良好に保持され、溶着や研削焼けなどを生じることなく優れた研磨性能が安定して得られるようにする。【解決手段】 研磨粒子30を基材34に対して固着するバインダー36に、添加剤38として、バインダー36の主成分である変性塩化ビニル樹脂結合剤100重量部に対して3〜10重量部の割合で珪酸ソーダ、塩化鉄などの水に可溶な無機化合物を添加し、研磨加工時にこの無機化合物が研磨液(水)によってバインダー36から溶け出すことにより、濡れ性が向上して研磨フィルム20による研磨位置に研磨液が良好に侵入して保持されるようにした。

請求項（抜粋）：

多数の研磨粒子がバインダーによって基材の表面に一体的に固着されており、被研磨物に対して相対的に押圧された状態で相対移動させられることにより、前記研磨粒子によって研磨加工を行う研磨フィルムにおいて、水に可溶な無機化合物を前記バインダーに添加したことを特徴とする研磨フィルム。

IPC (3件)：

B24D 11/00 ,  B24B 37/00 ,  B24D 3/02

FI (3件)：

B24D 11/00 B ,  B24B 37/00 C ,  B24D 3/02 A

Fターム (20件)：

3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AB04 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C063AA03 ,  3C063AB07 ,  3C063BB02 ,  3C063BB07 ,  3C063BC03 ,  3C063BC09 ,  3C063BD01 ,  3C063BG01 ,  3C063BG08 ,  3C063BG22 ,  3C063EE01 ,  3C063FF23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 研磨シートおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-148752   出願人：日本ミクロコーティング株式会社