基板収納容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-344954
公開番号（公開出願番号）：特開2004-179449
出願日： 2002年11月28日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】パージの効果を長時間維持することができるともに、簡単な構造で取り付け取り外しができ、比較的短時間で効率よくガスパージを行えるガスパージ用バルブを備えた基板収納容器を提供する【解決手段】基板収納容器1の貫通孔4に取り付け可能なバルブ体20であって、バルブ体20は貫通孔4の一方から嵌められる固定筒21と、貫通孔4の他方から嵌められ固定筒21に組み合わされる保持筒25と、これら固定筒21と保持筒25に隙間を介して内蔵される逆止弁31と逆止弁31を移動可能に支持する弾性支持部材33から構成し、中蓋筒34の内面には第一の係合部39が形成され、逆止弁31には前記第一の係合部39と係合する第二の係合部40を設け、逆止弁31の外側に気体の通路を形成した。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

容器本体と、容器本体の開口を開閉する蓋体と、これらの容器本体と蓋体の少なくとも一方の貫通孔に取り付けられ容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体とを含む基板収納容器であって、バルブ体は貫通孔の一方から嵌められる固定筒と、貫通孔の他方から嵌められ固定筒に組み合わされる保持筒と、保持筒の内側壁に保持される中蓋筒と、前記固定筒と前記保持筒に隙間を介して内蔵されると逆止弁と、前記逆止弁を移動可能に支持する弾性支持部材とを有し、中蓋筒の内面には第一の係合部が形成され、逆止弁には前記第一の係合部と係合する第二の係合部が設けられていて、前記固定筒の内側壁と前記逆止弁の外側壁との間に気体の通路となる隙間を形成したことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L21/68 , B65D85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R

Fターム (36件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BA20 , 3E096BB04 , 3E096CA02 , 3E096CB03 , 3E096DA18 , 3E096DA26 , 3E096DB01 , 3E096DC02 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA03 , 3E096FA07 , 3E096FA14 , 3E096GA20 , 3H055AA02 , 3H055CC05 , 3H055CC21 , 3H058AA03 , 3H058BB22 , 3H058CA01 , 3H058CB11 , 3H058CD02 , 3H058EE05 , 3H058EE12 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA08 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031EA14 , 5F031EA18 , 5F031NA02 , 5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-124166 出願人：ティーディーケイ株式会社

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