特許
J-GLOBAL ID：200903030670833722
クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外13名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-124166
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315724
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】シール性能が高いクリーンボックス、及びそのようなクリーンボックスを用いたクリーン搬送方法及びシステムを提供する。【解決手段】クリーンボックスは、下面に開口を有するボックス本体と、該開口を閉鎖するための蓋部材と、ボックス本体又は蓋部材の少なくとも一方に前記開口を取り囲むように形成された、蓋部材がボックス本体に装着された状態で蓋部材とボックス本体との間で密閉された吸着用空間を画成する環状溝と、該環状溝を外部から真空排気/真空解除するための吸排気口手段とを有する。
請求項（抜粋）：
下面に開口を有するボックス本体と、該開口を閉鎖するための蓋部材と、ボックス本体又は蓋部材の少なくとも一方に前記開口を取り囲むように形成された、蓋部材がボックス本体に装着された状態で蓋部材とボックス本体との間で密閉された吸着用空間を画成する環状溝と、該環状溝を外部から真空排気/真空解除するための吸排気口手段とを有するクリーンボックス。
Fターム (17件)：
5F031CA02
, 5F031DA09
, 5F031EA11
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA43
, 5F031GA47
, 5F031GA49
, 5F031NA02
, 5F031NA04
, 5F031NA05
, 5F031NA09
, 5F031NA10
