特許
J-GLOBAL ID：200903092912435439
非金属介在物測定における異物検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 繁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009946
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206341
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 ゴミや穴などを非金属介在物から識別する。【解決手段】 試料の表面に上方と斜方から同時に、またはそれぞれ別々に、かつ時間を変えて照明し、得られた濃淡画像の粒子を2値化した第1画像と、この粒子のうち光る部分を2値化した第2画像とを生成し、第1画像に表れる第1粒子と、第2画像に表れる第1粒子に対応した第2粒子について、第1粒子の面積a1と第2粒子の面積a2との比a2/a1が第1判定値T1以上である場合、この第1粒子をゴミと判定する。
請求項（抜粋）：
試料の表面に上方と斜方とから同時に照明する照明手段と、この照明の反射光を撮像する撮像手段と、この撮像した画像の濃淡画像を得る濃淡画像生成手段と、この濃淡画像に表れる粒子を2値化した第1画像とこの粒子のうち光る部分を2値化した第2画像とを得る2値化手段と、前記第1画像に表れる第1粒子と前記第2画像に表れる第1粒子に対応した第2粒子について、第1粒子の面積a1と第2粒子の面積a2との比a2/a1が第1判定値T1に対してa2/a1≧T1の場合、第1粒子をゴミと判定する粒子判定手段と、を備えたことを特徴とする非金属介在物測定における異物検出装置。
引用特許：
出願人引用 (5件)
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特開平3-158708
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画像処理による異物検出方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-203128
出願人：株式会社ニレコ
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特開平3-221849
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審査官引用 (2件)
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