特許

J-GLOBAL ID：200903092952183912

エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡

発明者： 金山 俊克
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-015537
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291486
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡において像や回折図形の回転を防止する。【解決手段】対物レンズ群20、第一中間レンズ群25、第二中間レンズ群26、第三中間レンズ群27、第四中間レンズ群28、及び投影レンズ群34の6つのレンズ群を備え、これらの各レンズ群は一つ以上のレンズによって構成されている。像観察モードから回折図形観察モードへ変更された場合、あるいはその逆に変更された場合、像観察モード時に倍率が変更された場合、回折図形観察モード時にカメラ長が変更された場合のいずれの場合にも、対物レンズ群20、第一中間レンズ群25、第二中間レンズ群26、第三中間レンズ群27、第四中間レンズ群28及び投影レンズ群34の各レンズ群のコイル巻数と励磁電流の積の総和が一定となるようになされる。

請求項（抜粋）：

一つ以上のレンズで構成される対物レンズ群と、一つ以上のレンズで構成される第一中間レンズ群と、一つ以上のレンズで構成される第二中間レンズ群と、一つ以上のレンズで構成される第三中間レンズ群と、一つ以上のレンズで構成される第四中間レンズ群と、エネルギーフィルタと、一つ以上のレンズで構成される投影レンズ群とを備え、前記各レンズの励磁電流を調節して像の回転を防止するように成したことを特徴とするエネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/141

FI (2件)：

H01J 37/26 ,  H01J 37/141 Z

Fターム (4件)：

5C033DE03 ,  5C033SS03 ,  5C033SS08 ,  5C033SS09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-309612   出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
• 特開昭61-049363
  
• 特開昭54-163671
  
• 特開昭62-241245