特許
J-GLOBAL ID：200903092962774021
圧力式流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-089463
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265216
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 異なる多種の流量を簡単に得ることができる圧力式流量制御装置を提供すること。【解決手段】 流体制御弁5の下流側に絞り機構7を設け、この絞り機構7の上流側の圧力を下流側の圧力の約2倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流量制御装置において、前記絞り機構7を、大きさの異なる複数の孔23〜25を一定方向に配列した状態で有する第1の絞り機構部材21と、前記孔23〜25より大きい一つの孔26を有するとともに、第1の絞り機構部材21に密着しながら前記配列方向に移動する第2の絞り機構部材22とによって構成し、第2の絞り機構部材22の孔26の位置を第1の絞り機構部材21の複数の孔23〜25のうちの一つの位置に合わせることにより、絞り機構における孔径を設定するようにしている。
請求項（抜粋）：
流体制御弁の下流側に絞り機構を設け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約2倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流量制御装置において、前記絞り機構を、大きさの異なる複数の孔を一定方向に配列した状態で有する第1の絞り機構部材と、前記孔より大きい一つの孔を有するとともに、第1の絞り機構部材に密着しながら前記配列方向に移動する第2の絞り機構部材とによって構成し、第2の絞り機構部材の孔の位置を第1の絞り機構部材の複数の孔のうちの一つの位置に合わせることにより、絞り機構における孔径を設定するようにしたことを特徴とする圧力式流量制御装置。
引用特許：
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