特許

J-GLOBAL ID：200903092969298640

インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法

発明者： 高橋 哲司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-030752
公開番号（公開出願番号）：特開平11-227190
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 ノズル板の接着不良やノズルの目詰まりを防止できるインクジェット式記録ヘッドの製造方法の提供。【解決手段】 (a)圧力室(21)を形成するための圧力室基板(20)の両面に振動板(301)を形成する工程と、(b)一方の振動板(301)を圧力室(21)の形状に合わせてエッチングし、圧力室基板(20)を露出させる工程(A)と、(c)露出した圧力室基板(20)を他方の振動板(301)が露出するまでエッチングする工程(B)と、(d)一方の振動板(301)と圧力室基板(20)とにより圧力室(21)の開口端部に形成された当該振動板のひさし部分(12)を、当該振動板(301)を選択的にエッチングすることによて取り除く工程(C)と、を備えて構成される。

請求項（抜粋）：

圧力室が設けられた圧力室基板と、前記圧力室基板に設けられた振動板と、前記振動板上に設けられた圧電体素子と、を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記振動板は、前記圧力室内で露出している領域に凹部が形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-206505
  
• インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008075   出願人：セイコーエプソン株式会社