特許

J-GLOBAL ID：200903093000860097

感光性樹脂組成物

発明者： 田島 右副 ,  武内 一夫 ,  竹内 江津
出願人/特許権者： 理化学研究所 ,  住友ベークライト株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015176
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214585
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】半導体素子、回路配線板などの製造へ応用することができ、感度と解像度が高く、耐熱性の優れた樹脂層を得ることができるネガ型の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式[1]〜[3]で表される構造を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。ただし、R1〜R4、R5〜R12、R13〜R20の中の少なくとも1つは、cis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に、水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基である。また、R21は、酸素、硫黄、炭素数1〜4のアルキレン基又はアルキレンオキシ基である。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式[1]で表される構造を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(ただし、式中、R1、R2、R3及びR4の少なくとも1つは、cis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に、水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基である。)

IPC (7件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 3/04 ,  C08L 79/08 ,  C09D 5/00 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 3/04 ,  C08L 79/08 A ,  C09D 5/00 C ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (86件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC01 ,  2H025BC55 ,  2H025BC69 ,  2H025BC81 ,  2H025BD25 ,  2H025BD29 ,  2H025BD33 ,  2H025CA00 ,  4J002BL001 ,  4J002CE001 ,  4J002CM011 ,  4J002CM041 ,  4J002FD156 ,  4J002GQ05 ,  4J038DJ021 ,  4J038DJ031 ,  4J038HA026 ,  4J038NA14 ,  4J038NA18 ,  4J038PA17 ,  4J038PB09 ,  4J038PC02 ,  4J038PC03 ,  4J038PC08 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PC035 ,  4J043PC036 ,  4J043PC065 ,  4J043PC066 ,  4J043PC115 ,  4J043PC116 ,  4J043PC165 ,  4J043PC166 ,  4J043PC185 ,  4J043PC186 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA02 ,  4J043SA46 ,  4J043SA49 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SA73 ,  4J043SA81 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA15 ,  4J043TA22 ,  4J043TA47 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB131 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB401 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA062 ,  4J043XA16 ,  4J043YB18 ,  4J043YB21 ,  4J043YB35 ,  4J043YB37 ,  4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-243450   出願人：理化学研究所