特許

J-GLOBAL ID：200903093042232843

微小電子機械電流検出装置

発明者： セバスチャン・ゲハード・マクシム・クレイマー ,  ヤル・ナジェム・メンデス・ヘルナンデス
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (3件)： 荒川 聡志 ,  小倉 博 ,  黒川 俊久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-065527
公開番号（公開出願番号）：特開2009-229459
出願日： 2009年03月18日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：

【課題】微小電子機械(MEMS:micro-electromechanical)電流検出装置を提供する。【解決手段】微小電子機械(MEMS)電流検出装置は、キャリア部(306)と、キャリア部(306)上に設けられ、光路(402、403)および光路(402、403)内の磁気感受性要素(401)を含む光学部(301)と、キャリア部(306)上に設けられ、光路(402)の第1の端部と動作状態で連通する光源(302a)と、キャリア部(306)上に設けられ、光路(403)の第2の端部と動作状態で連通する光検出器(302b)とを含む。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

キャリア部(306)と、 前記キャリア部(306)上に設けられ、光路(402、403)および前記光路(402、403)内の磁気感受性要素(401)を含む、光学部(301)と、 前記キャリア部(306)上に設けられ、前記光路(402)の第1の端部と動作状態で連通する、光源(302a)と、 前記キャリア部(306)上に設けられ、前記光路(403)の第2の端部と動作状態で連通する、光検出器(302b)と、 を含む、微小電子機械(MEMS:micro-electromechanical)電流検出装置。

IPC (1件)：

G01R 15/24

FI (1件)：

G01R15/07 B

Fターム (4件)：

2G025AA05 ,  2G025AA11 ,  2G025AB10 ,  2G025AC01

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-019572
  
• 光ファイバセンサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-106467   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭63-019572
  
• 特開昭63-019572
  
• 光応用測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-204865   出願人：株式会社東芝, 東芝変電機器テクノロジー株式会社